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真空水泵选型
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1,真空泵的工作压力应该满足真空设备的真空压力和工作要求的限制。如:真空镀膜要求1 × 10 - 5mmHg的真空,真空泵选择至少5 × 10 - 6mmHg。通常选择真空泵真空设备真空超过半数一阶magnitude.
2,泵的工作点的正确选择。每个泵具有一定的工作压力范围,如:扩散泵10-310 - 7mmHg,在这样一个广泛的压力范围内,泵的抽速与压力的变化,并以其稳定的工作压力范围为5 × 10 - 45 × 10 - 6mmHg。因此,泵的工作点应选在这个范围内,但不属于它在10 8mmHg长期工作。另一个例子是钛升华泵可以工作在10 - 2mmHg,但工作压力应well.
3小于1 × 10 - 5mmHg,真空压力下泵在工作中,应能在真空中的放电过程设备的所有气体。
4,真空泵的正确组合。作为一种选择性抽真空,因此,有时用一泵不能满足抽气要求,结合起来,互为补充,以满足通风要求几个泵的需要。如钛升华泵等具有较高的氢的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极不对称阴极溅射离子泵)的抽速,在一定程度上氩气,两者一起,他们将获得一个较好的真空装置,使真空。此外,一些水泵不能工作在大气压力下,你需要预真空,有些低于大气压力泵出口压力,你需要前级泵,古都的需要相结合,pump.
5,真空设备,以油污染的要求。如果无油设备的严格要求,你应该选择一个非石油泵,如品种:水环泵,分子筛吸附泵,溅射离子泵,低温泵等。如果要求不严格,你可以选择一台泵,加一些油污染防治措施,如增加冷阱,挡板,挡油水井等,也能达到清洁真空要求。
6,学会抽气体成分,含不凝气体蒸气,有无颗粒灰尘或无腐蚀性。选择真空泵,你需要知道气体成分,被抽水泵选择合适的气体。如果气体中含有蒸汽,粉尘及腐蚀性气体应在泵管道的安装辅助设备,如冷凝器,过滤器等,入口审议。
7,真空泵油蒸气排出对环境的影响。如果环境不允许有污染,可以选择到room.
8,真空泵工作时产生的过程,以及是否对环境的冲击振动无油真空泵,或油蒸气。如果进程是不允许的,没有泵振动应选择或服用抗震动measures.
9,真空泵的价格,运营和维护费用。 |
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